研創(chuàng)園激光芯片公公技術(shù)服務(wù)平臺位于南京市浦口區(qū)西華北路1 號,項目建筑面積6309.79m2,其中萬級區(qū)1535m2,千級區(qū) 1134m2,百級區(qū)21m2。配電房、機組間、特氣間、純水間、廢 水間等輔助功能間3234m2。合同額3299萬,工期100天。 項目包含:潔凈系統(tǒng)、消防、PCW、CDA、PV、有機排風(fēng)、無機 排風(fēng)、熱排風(fēng)、純水系統(tǒng)、廢水系統(tǒng)、冷熱源系統(tǒng)、DCC系統(tǒng)、 弱電系統(tǒng)。
萬級區(qū)采用的是AHU+高效箱的方式,溫濕度要求為:22±1℃,50±5%RH。
千級區(qū)采用的是MAU+DCC+FFU的方式,溫濕度要求為:22±0.5℃,45±3%RH,光刻間溫濕度要求為:22±0.5℃,
40±3%RH,每小時變化率不高于±0.1℃。